マーカス型高周波グロー放電発光表面分析装置(GDS)

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マーカス型高周波グロー放電発光表面分析装置

迅速かつ簡単な表面分析装置です。高周波方式グロー放電を採用しているため、非導電性試料でも表面分析が可能です。また高速Arスパッタで迅速深さ方向分析(表面分析)が行えH〜Uまでの元素分析が行えます。